使用時(shí)，應(yīng)將干濕計(jì)放置距地面1.2～1.5米的高處。讀出干、濕兩球所指示的溫度差，由該濕度計(jì)所附的對照表就可查出當(dāng)時(shí)空氣的相對濕度。因?yàn)闈袂蛩啿妓终舭l(fā)的快慢，不僅和當(dāng)時(shí)空氣的相對濕度有關(guān)，還和空氣的流通速度有關(guān)。所以干濕球溫度計(jì)所附的對照表只適用于的風(fēng)速，不能任意應(yīng)用。例如，設(shè)干泡溫度計(jì)所示的溫度是22℃，濕泡溫度計(jì)所指示的是16℃，兩泡的溫度差是6℃，可先在表中所示溫度一行找到22℃，又在溫度一行找到6℃，再把22℃橫向與6℃豎行對齊，找到數(shù)值54。它的意思就是相對濕度是54%。

　　濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對濕度是無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。川島除濕機(jī)半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。

　　細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時(shí)就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至低。高濕度實(shí)際上減小了無塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。